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GCE系列质量流量控制器

GCE系列质量流量控制器,采用独特的热式传感器温度补偿技术,可有效应对不同环境温度的挑战。客户可选择±15V/+24V

RS485、模拟量通讯、VCRSwagelok等多种选配方式精准快速适应使用需求,有效降低客户设计复杂系统的难度和使用成本。

MFC系列旗舰产品采用了最新的温度补偿算法,参照SEMIE18-91标准进行了高低温测试,有效保障了较广温度范围的测控精度,

减小了环境温度引起的测量控制偏差。高精度的设定点流量有效保障了全量程内MFC的流量精确测控,为先进工艺制程提供了

有效保障。采用了最新开发的“自适应PID控制算法”。它可对所有设定点实现1秒以内的响应速度。自适应PID控制算法可根据

不同的工况自行整定PID参数,实现客户对快速响应与低超调量的要求。




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