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TCP系列气体质量流量控制器，专为集成电路设计的高端产品，拥有更宽的流量比和设定精度。配置出色的低温漂特性，独特的
PID控制算法以及非线性气体换算函数，可在全量程范围内实现快速的响应，控制精度亦达到最佳，最大程度降低流量过程控制
的误差。
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