FVC300水蒸气控制模块用于精确输送未稀释的超高纯度去离子水蒸气。本产品采用节能高效设计,可以在较低温度条件下生成
超高纯度的水蒸气。FVC 300内置FELTON高精度MFC,并且集成了先进的数字控制技术与完备的报警诊断功能。
FVC 300专为先进的金属蚀刻钝化工艺设计，相比于闪蒸系统，FVC 300提供了更高的控制精度与更宽的控制范围以及更低的系统功耗。
基于经验证的热式质量流量控制技术，FVC 300在非过热阶段的钝化钛容器中产生蒸气，减少了去离子水的侵蚀作用，可以提高
系统的可靠性和洁净度。
FVC300同时提供模拟和EtherCAT通信接口。
